MetaOptics将在斯坦福大学nano@stanford部署超透镜直写式激光光刻系统

(全球TMT 2026年08月13日讯)MetaOptics Ltd宣布,已与斯坦福大学达成协议,将在其nano@stanford设施安装及部署关键超透镜直写式激光光刻(DLW)系统。

该DLW专为4英寸玻璃晶圆而设计,可在数周内完成超透镜样品的快速原型开发和制造,并支持小批量生产。系统所配备的100nm超高精度激光技术,可同时制造逾100枚超透镜,每枚超透镜的直径最小可达0.1mm,适用于多项高需求应用,包括共封装光学结构、用于提升高速互连效率的准直超透镜及成像超透镜等。

根据协议,MetaOptics的DLW将部署于nano@stanford设施内。nano@stanford是一个开放式共享设施,每年为超过1,400名来自行业、政府及斯坦福大学的成员提供服务。本公司的DLW将由nano@stanford管理,并向其成员开放使用。nano@stanford已同意为MetaOptics提供用户反馈并支持用户演示。