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ERS electronic推出Luminex产品线的首台机器,采用光学拆键合技术
(全球TMT2024年3月19日讯)半导体制造业提供温度管理解决方案的领导者ERS electronic推出了Luminex产品线的首台机器,该机器采用尖端的光学拆键合技术,适用于最大600 x 600毫米的面板和不同尺寸的晶圆。光学拆键合是一种无外力的拆键合方法:通过使用精准可控的闪光灯将载体与基板分离。与传统的激光拆键合相比,可为用户节省高达30%的运营成本。
![Luminex: The semi-automatic machine is the first of ERS’s Luminex product line, featuring its PhotoThermal debonding technology.](https://mma.prnasia.com/media2/2361259/Luminex_Photothermal.jpg?p=medium600)
ERS半自动设备属于Luminex产品系列的第一台设备。目前,ERS正在开发用于300毫米晶圆的全自动设备,该设备将于本年第二季度末发布。从四月份开始,这台半自动设备将分别配备在 ERS 中国上海和德国的实验室,用于测试客户的晶圆和面板样品以及样品演示。
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