富士胶片在CSEAC 2026展示测量胶片系列及压力定量化整体解决方案
(全球TMT 2026年09月01日讯)2026年8月31日-9月2日,第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡举行,富士胶片(中国)投资有限公司携旗下测量胶片系列及压力定量化整体解决方案参展,重点展示两款专为半导体制造场景打造的新品——圆形压力测量胶片Round Prescale及A3尺寸压力图像分析装置Prescale Station。

圆形压力测量胶片Round Prescale专为12英寸半导体晶圆设计,采用与12英寸晶圆完全匹配的尺寸,配备专用手柄,支持在最高220°C高温环境下直接测量;A3尺寸压力图像分析装置Prescale Station于7月推出,集成高分辨率工业相机与LED光源,可实现压力定量化分析,具备自动判定及数据导出功能,有A3与A4两种尺寸可供选择。
富士胶片还展出了高温用压力测量胶片PRESCALE 100/200、移动端压力图像分析软件Prescale Mobile,以及针对紫外线、热分布等工艺参数的测量胶片等定量化产品矩阵。

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