
SK keyfoundry推出多层厚金属间电介质电容工艺
(全球TMT2025年9月23日讯)韩国8英寸纯晶圆代工厂SK keyfoundry宣布推出具备业界领先高击穿电压特性的多层厚金属间电介质 (Thick IMD)电容工艺。该工艺支持堆叠最多三层IMD,每层最大厚度达6微米,从而在金属-绝缘体-金属(MIM)结构中,总厚度最高可达到18微米。该工艺可提供高达19,000V的击穿电压特性及优异电容性能,预计将用于制造数字隔离用电容器,以及电子电路中抑制电容耦合的电容器。

采用此工艺制造的电容已成功通过主要客户的经时介电层击穿(TDDB)评估,并符合AEC-Q100国际汽车半导体质量标准。该工艺尤其可集成到0.13微米及0.18微米BCD工艺技术中,在汽车半导体领域具备极高的应用价值。此外,SK keyfoundry还提供PDK(工艺设计套件)、DRC(设计规则检查)、LPE(版图寄生参数提取)、LVS(版图与电路原理图一致性检查)及Pcell(参数化单元)等设计支持工具,助力客户加速产品开发进程。
文章评论(0)