韩国晶圆代工厂DB HiTek拓展专业图像传感器业务
(全球TMT2024年6月3日讯)韩国专业晶圆代工厂DB HiTek正在加强其在汽车、工业、机器人和医疗领域应用广泛的全域快门和单光子雪崩二极(SPAD)工艺技术,以拓展其专业图像传感器业务。
全域快门是一种传感器,可捕捉快速移动物体的图像而不会失真。DB HiTek的7 Tr电荷区全域快门采用光屏蔽和光导技术,在5.6 um像素下实现了PLS≥35,000,并支持各种尺寸,最小可达2.8 um像素(PLS≥10,000)。DB HiTek的6 Tr电荷区全域快门可确保在2.8 μm像素、60C的条件下,PLS ≥10,000,存储暗电流≤20e/s。这项工艺预计将于今年年底完成,并提供给客户。
SPAD是一种超高灵敏度三维图像传感器,可检测到粒子级的微弱光信号。DB HiTek的第二代SPAD工艺在BSI结构中采用了背面散射技术(BST)和背面深沟槽隔离技术(BDTI),在波长为940 nm时,光子探测概率为15.8%。此外,它还实现了相当于0.69 cps/um2的暗电流速率(DCR)性能。
DB HiTek还计划积极支持无晶圆厂客户拓展专业图像传感器业务。同时,通过与欧洲一家领先的医疗传感器专业公司合作成功开发产品,拓展了X射线CIS业务。
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