（全球TMT2022年8月2日讯）中微半导体设备（上海）股份有限公司迎来成立18周年的"成年礼"。自2004年成立以来，中微致力于开发和提供具有国际竞争力的微观加工的高端设备，现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。从2007年首台CCP刻蚀设备研制成功并交付客户起，中微公司等离子体刻蚀设备不断突破创新，其产品从65纳米到14纳米、7纳米、5纳米等均已在国际一线客户的集成电路加工制造及先进封装中得到批量应用。此外，中微公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD设备自2012年研制成功并交付客户，现已在行业领先客户生产线上大规模投入量产。

2021年，中微公司研发同比增长13.8%，占2021年营业收入的比重为23.42%。持续的研发投入和深厚的技术储备，为中微公司成为了国内半导体龙头企业提供保障：截至2021年年底，公司已拥有多项自主知识产权和核心技术，申请专利达2012项，其中发明专利达1741项；已获授权专利达1179项，其中发明专利达993项。